KC

대용량의 가스 용기에 저장된 특수가스를 안전하고 오염없이 공급할 수 있도록 고안된 장치이며 대유량으로 장시간 가스를 공급할 수 있어 운영비의 절감 및 가스의 순도관리에 유리합니다.

시스템 사양

공급방식 : 자동 공급전환 방식 (Auto Change Type)
제어방식 : 전자동 시스템 (PLC & Touch Screen)
공급용기 : Tube Trailer, Tank Lorry, Ton/Y-Cylinder
공급유량 : 200~2000 SLPM (Max. Flow Rate@N2 Gas)
공급압력 : 0.1~0.9MPa

시스템 장점

자동/수동 운전가능
가스 특성별 안전장치 설치
오 조작 방지용 인터록 가능
알람 기능 및 알람 이력 관리
방폭 위험지역 설치 가능
상위 감시용 통신 지원

소용량의 특수가스를 공급하는 장치로 가스 누출 시 감지할 수 있는 각종 안전장치의 설치 및 프로그램에 의한 자동 운전을 통해 운영자의 조작 실수를 방지하여 안전하게 가스를 공급할 수 있습니다.

시스템 사양

공급방식 : 자동 공급전환 방식 (Auto Change Type)
제어방식 : 전자동 시스템 (PLC & Touch Screen)
공급용기 : 54L Cylinder 이하
공급유량 : 30SLPM (Max.Flow Rate@N2 Gas)
공급압력 : 0.1~0.9MPa

시스템 장점

쉬운 장비 조작
가스 특성 별 안전장치 설치
오 조작 방지용 인터록 기능
알람 기능 및 알람 이력관리
방폭 위험지역 설치 가능
상위 감시용 통신 지원

VMB는 가스공급장치로부터 가스를 공급받아 여러 갈래로 분기하여 공정설비로 깨끗한 상태의 가스를 필요한 압력으로 공급하는 장치이며 공급배관의 증설 및 관리가 용이합니다.

시스템 사양

공급방식 : Inlet 1~2 & Outlet 4~12
제어방식 : 반자동 시스템 (PLC & Touch Screen)
공급유량 : 1~100SLPM (Max.Flow Rate@N2 Gas)
공급압력 : 0.1~0.68MPa

시스템 장점

쉬운 장비 조작
가스 특성 별 안전장치 설치
오 조작 방지용 인터록 기능
알람 기능 및 알람 이력관리
방폭 위험지역 설치 가능
상위 감시용 통신 지원

Mixer System은 농도 분석기와 MFC가 결합된 전자동 가스 혼합 시스템으로 정확한 혼합 비율을 제공하며 안전하고 신뢰성 높게 가스를 혼합하여 실시간으로 공정설비로 공급합니다.

시스템 사양

공급사양 : 혼합가스 농도 정확도 ±0.1%이내 가능
제어방식 : 전자동 시스템 (PLC & Touch Screen)
공급용기 : 80~200 Liter Tank
공급유량 : 50~100SLPM (Max.Flow Rate@N2 Gas)
공급압력 : 0.31MPa

시스템 장점

쉬운 장비 조작
가스 특성 별 안전장치 설치
오 조작 방지용 인터록 기능
알람 기능 및 알람 이력관리
방폭 위험지역 설치 가능
상위 감시용 통신 지원